| เทคนิค | ขีดจํากัดการตรวจพบ | ดีที่สุดสําหรับ |
|---|---|---|
| สเปคตรอสโกปีย์ FTIR | 0.1 μg/cm2 | เหลืออินทรีย์ |
| HPLC | 1 ppm | ปนเปื้อนไอออน |
| ICP-MS | 0.01 ppb | โลหะหนัก |
| อุตสาหกรรม | มาตรฐาน | ขั้นต่ําการยอมรับ |
|---|---|---|
| การแพทย์ | ISO 19227 | ≤0.1 mg/cm2 เหลือ |
| โครงการประกอบการ | SEMI C35 | ≤ 5 ซอง (> 0.5μm) /cm2 |
| รถยนต์ | VDA 191 | ไม่มีเส้นใย > 200 μm |
| เรื่อง | สาเหตุ ที่ ส่ง ผล | การแก้ไข |
|---|---|---|
| ผลที่ไม่สอดคล้อง | ความถี่ไม่มั่นคง | ปรับขนาดเครื่องกําเนิดประจําปี |
| สารล้างขยะ | การชําระน้ําไม่ดี | เพิ่มการติดตามการนํา |
| ความเสียหายบางส่วน | การละลายโดยการหลุม | ลดความหนาแน่นของพลังงาน |
สรุป
การทําความสะอาด ultrasonic ที่มีประสิทธิภาพต้องการการรับรองการทดสอบทางวิธีและการปรับที่พัฒนาจากข้อมูลโดยการนําเทคนิคการตรวจสอบเหล่านี้มาใช้งาน ผู้ผลิตความสะอาดซ้ําในขณะที่ปฏิบัติตามมาตรฐานด้านอุตสาหกรรมที่เข้มงวด