การผลิตครึ่งตัวนําเป็นอุตสาหกรรมที่ซับซ้อนและมีความแม่นยําสูง ซึ่งความสะอาดเป็นปัจจัยสําคัญในการรับประกันผลงานและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ครึ่งตัวนําในขณะที่ความต้องการของขนาดเล็กการทําความสะอาดที่รวดเร็วและมีประสิทธิภาพมากขึ้น ยังคงเพิ่มขึ้น ความต้องการของเทคโนโลยีทําความสะอาดที่ซับซ้อนมากขึ้นเทคโนโลยี หนึ่ง ใน แบบ นี้ ที่ ได้ ทํา ให้ กระบวนการ ทําความสะอาด ใน อุตสาหกรรม เซม คอนดัคเตอร์ มี การ เปลี่ยนแปลง เป็น การ ทําความสะอาด ด้วย เสียง ultrasonic.
การทําความสะอาด ultrasonic ใช้คลื่นเสียงความถี่สูง โดยปกติจะตั้งแต่ 20 kHz ถึง 40 kHz เพื่อสร้างความแตกต่างความดันอย่างรวดเร็วในของเหลวคลื่นความดันเหล่านี้ สร้างฟองจุลินทรีย์ในสารล้างการทําความสะอาด ผ่านกระบวนการที่รู้จักกันในชื่อ cavitationเมื่อ Bubbles เหล่านี้ล่มสลาย พวกมันสร้างแรงระบายขนาดเล็กที่แข็งแกร่ง ที่จะกําจัดสารพิษจากพื้นผิวของวัตถุที่กําลังทําความสะอาด โดยไม่ทําให้เกิดความเสียหายในการผลิตครึ่งตัวนํา, เทคโนโลยีนี้ถูกใช้เป็นหลักในการทําความสะอาดแผ่นครึ่งตัว ซึ่งต้องไม่มีสารสกปรกเพื่อให้แน่ใจว่าอุปกรณ์สุดท้ายทํางานได้อย่างถูกต้อง
ในการผลิตครึ่งตัวนํา แม้กระทั่งสารปนเปื้อนขนาดเล็กที่สุด เช่น อนุภาคฝุ่น น้ํามัน อิโอนโลหะ และซากอินทรีย์ สามารถส่งผลกระทบต่อผลงานของอุปกรณ์ครึ่งตัวนําได้อย่างลบอุปกรณ์เหล่านี้มักถูกผลิตบนแผ่น, ซึ่งเป็นแผ่นแผ่นบางทําจากซิลิคอนหรือวัสดุอื่น ๆ และสารปนเปื้อนเล็ก ๆ น้อย ๆ สามารถนําไปสู่ความบกพร่องในวงจร, ส่งผลให้ผลผลิตลดลงและผลิตภัณฑ์ที่บกพร่อง
ดังนั้น ความต้องการในการทําความสะอาดความละเอียดจึงกลายเป็นสิ่งสําคัญที่สุดในการผลิตครึ่งตัวนําสารปนเปื้อนต้องถูกกําจัดอย่างละเอียดจากพื้นผิวของแผ่น โดยไม่ทําลายโครงสร้างเล็กๆ ที่อ่อนแอ หรือเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติของวัสดุของครึ่งประสาทวิธีทําความสะอาดแบบดั้งเดิม เช่น การทําความสะอาดด้วยมือหรืออาบน้ําทางเคมี อาจไม่ให้ความละเอียดหรือประสิทธิภาพที่จําเป็นให้บริการทางแก้ไขที่มีประสิทธิภาพและน่าเชื่อถือในการบรรลุมาตรฐานความสะอาดที่ต้องการ.
ประโยชน์หลักของการทําความสะอาดด้วยเสียงฉายในการผลิตครึ่งตัวนํา คือความสามารถในการทําความสะอาดในระดับความละเอียดสูงคลื่น ultrasonic ผ่านแม้แต่ช่องเล็ก ๆ น้อย ๆ และรูบนพื้นผิว wafer, รับรองว่าสารพิษถูกกําจัดอย่างละเอียด ความสามารถนี้มีความสําคัญเป็นพิเศษในการทําความสะอาดแผ่นครึ่งนําเนื่องจากมักจะมีรูปแบบและลักษณะที่ซับซ้อน ที่ต้องทําความสะอาดอย่างละเอียด เพื่อหลีกเลี่ยงความบกพร่องการทําความสะอาด ultrasonic ยังทําให้แน่ใจว่าสารพิษจุลินทรีย์ เช่นอนุภาคต่ํากว่าไมครอนหรือซากออร์แกนิคจะถูกย้ายออกไปอย่างมีประสิทธิภาพ ส่งผลให้มีความสะอาดสูง
หนึ่งในข้อดีของการทําความสะอาดด้วยเสียงฉายคือมันเป็นวิธีทําความสะอาดที่ไม่ใช้ยาบด ไม่เหมือนกับเทคนิคทําความสะอาดแบบดั้งเดิมที่อาจมีการกวาดฟิสิกอลหรือใช้สารเคมีที่รุนแรงการทําความสะอาด ultrasonic ใช้แรงที่อ่อนโยน แต่มีประสิทธิภาพที่เกิดจาก cavitationทําให้มันเหมาะสมสําหรับการทําความสะอาดวัสดุที่อ่อนแอ เช่น วอฟเฟอร์ครึ่งประสาท ที่สามารถเสียหายง่ายด้วยวิธีทําความสะอาดที่บดหรือรุนแรงการทําความสะอาดด้วยเสียงฉาย ให้แน่ใจว่าโวฟเฟอร์จะไม่ถูกขีดข่วน, ตะกรุด, หรือได้รับความเสียหายในทางอื่น ๆ ระหว่างกระบวนการทําความสะอาด, การรักษาความสมบูรณ์ของอุปกรณ์.
การทําความสะอาด ultrasonic มีประสิทธิภาพสูง ทําให้สามารถทําความสะอาดแผ่นครึ่งประสาทจํานวนมากได้อย่างรวดเร็วการลดเวลาทําความสะอาดโดยรวมเมื่อเทียบกับวิธีประเพณีในสภาพแวดล้อมการผลิตครึ่งประสาท ที่เวลามักมีความสําคัญความเร็วของการทําความสะอาด ultrasonic ช่วยในการปรับปรุงการผลิตโดยการรักษามาตรฐานความสะอาดที่จําเป็น.
การทําความสะอาดด้วยเสียงฉีด ultrasonic มีความสามารถหลากหลายอย่างมาก และสามารถกําจัดสารปนเปื้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพมากมาย รวมถึงสารอินทรีย์ อิโอนโลหะ ฝุ่น น้ํามัน และอนุภาคอื่นๆวอฟเฟอร์ครึ่งตัวนําอาจถูกเผชิญกับแหล่งปนเปื้อนต่างๆ ระหว่างกระบวนการผลิตรวมถึงการจัดการโดยผู้ประกอบการมนุษย์ การเผชิญหน้ากับอนุภาคในสภาพแวดล้อม และซากจากขั้นตอนการแปรรูปที่ผ่านมาระบบทําความสะอาด ultrasonic สามารถปรับปรุงเพื่อตอบสนองความต้องการการทําความสะอาดเฉพาะโดยปรับปัจจัย เช่น ความถี่, อุณหภูมิและส่วนประกอบของสารแก้ไขการทําความสะอาด ทําให้มันเหมาะสมสําหรับภารกิจการกําจัดปนเปื้อนที่หลากหลายในการผลิตครึ่งตัวนํา
ผู้ผลิตครึ่งตัวนํากําลังถูกกดดันเพิ่มมากขึ้น เพื่อนํามาใช้วิธีที่มิชอบสิ่งแวดล้อมมากขึ้น และการทําความสะอาดด้วยเสียงฉีด ultrasonic ให้บริการเป็นทางแก้ปัญหาที่มีความรู้ถึงสิ่งแวดล้อมไม่เหมือนกับกระบวนการทําความสะอาดที่ใช้สารละลาย ซึ่งมักจะใช้สารเคมีอันตราย และสร้างขยะพิษ, การทําความสะอาด ultrasonic สามารถดําเนินการด้วยสารแก้ไขที่มีพื้นฐานน้ําที่ไม่เป็นอันตรายต่อสิ่งแวดล้อมการใช้เครื่องทําความสะอาด ultrasonic ลดความต้องการของสารทําความสะอาดจํานวนมาก, ส่งผลให้มีขยะที่น้อยลงและกระบวนการผลิตที่ยั่งยืนมากขึ้น
การใช้งานที่ทั่วไปและสําคัญที่สุดของการทําความสะอาด ultrasonic ในการผลิตครึ่งตัวคือการทําความสะอาดแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่นแผ่น,การถักและการฝังไอออน ในระหว่างที่พวกมันสามารถปนเปื้อนด้วยอนุภาค, ไอออนโลหะ, หรือซากอินทรีย์การรับรองว่าโวฟเฟอร์มีสภาพบริสุทธิ์ ก่อนที่จะดําเนินการไปสู่ขั้นตอนการผลิตต่อไปการทําความสะอาด ultrasonic ที่มีประสิทธิภาพในการกําจัดสารปนเปื้อนที่เล็กที่สุดทําให้มันจําเป็นในการบรรลุมาตรฐานความสะอาดสูงที่ต้องการในการผลิตครึ่งตัวนํา
ในการถ่ายภาพลักษณ์ไฟฟ้า, วัสดุต่อรองแสงถูกนําไปใช้กับแผ่นแผ่นครึ่งประสาทเพื่อสร้างรูปแบบสําหรับวงจรถัก.อนุรักษ์แสงที่เหลือสามารถอยู่บนแผ่นการทําความสะอาด ultrasonic ที่มักถูกรวมกับสารล้างความสะอาดพิเศษใช้ในการกําจัดซากต่อรองแสงได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่เสียหายผิวแผ่นหรือวงจรพื้นฐาน.
แม้แต่ปริมาณของอนุภาคเล็ก ๆ น้อย ๆ ก็สามารถมีผลกระทบที่สําคัญต่ออุปกรณ์ครึ่งตัวนําไปสู่ความบกพร่องหรือความผิดปกติการทําความสะอาด ultrasonic มีประสิทธิภาพสูงในการกําจัดทั้งอนุภาคขนาดใหญ่และขนาดต่ํากว่าไมครอนที่อาจฝากบนกระปุกในระหว่างการจัดการหรือการแปรรูปคลื่นฉายเสียงสร้างแรงเพียงพอที่จะย้ายอนุภาค, แม้แต่ผู้ที่ติดแน่นกับพื้นผิว, การปรับปรุงอัตราการผลิตและความน่าเชื่อถือของผลิตภัณฑ์.
ระหว่างกระบวนการถักแผ่นแผ่นครึ่งนําเสน่ห์ถูกเผชิญกับสารเคมีที่อาจทิ้งเหลือที่ไม่ต้องการเหลือเหล่านี้ต้องถูกกําจัดเพื่อให้แน่ใจว่าความสมบูรณ์แบบของแผ่นและความแม่นยําของรูปแบบถักการทําความสะอาด ultrasonic ใช้เป็นวิธีการทําความสะอาดหลังการถักเพื่อกําจัดซากเคมีที่เหลือใด ๆ เพื่อให้แน่ใจว่ากระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษ
การ ทํา ความ สะอาด ด้วย เสียง ยอด เสียง มี ข้อ ประโยชน์ หลาย อย่าง แต่ ยัง มี ปัญหา. สิ่ง สําคัญ หนึ่ง ที่ ควร พิจารณา คือ การ เลือก วิธี ทํา ความ สะอาด ที่ เหมาะ สม.สารประกอบทางเคมีของน้ํายาทําความสะอาดต้องเข้ากันได้กับวัสดุของกระปุกและประเภทของสารปนเปื้อนที่จะถูกกําจัดนอกจากนี้ ปัจจัย เช่น ความถี่ อุณหภูมิ และเวลาการทําความสะอาด ต้องถูกปรับปรุงให้ดี เพื่อให้ได้รับผลการทําความสะอาดที่ต้องการ โดยไม่ทําให้เกิดความเสียหาย
ความท้าทายอีกอย่างคือความเสี่ยงของการเสียหายจากการหลุมหลุม ถ้ากระบวนการทําความสะอาดไม่ได้ควบคุมอย่างถูกต้องพลังงาน cavitation มากเกินไปบางครั้งอาจส่งผลให้มีรูบนพื้นผิวหรือความเสียหายโดยเฉพาะสําหรับโวฟเฟอร์ที่อ่อนแอมากหรือบาง ดังนั้นมันจึงจําเป็นที่จะปรับปรุงระบบฉีดเสียงให้เหมาะสมกับความต้องการเฉพาะเจาะจงของงานทําความสะอาดแต่ละครั้ง
การทําความสะอาด ultrasonic ได้กลายเป็นเทคโนโลยีที่จําเป็นในการผลิตครึ่งตัวนํา ซึ่งนําเสนอวิธีการที่มีประสิทธิภาพ แม่นยํา และไม่ทําลายล้างในการทําความสะอาดแผ่นครึ่งตัวนําความสามารถในการกําจัดสิ่งปนเปื้อนและอนุภาคเล็ก ๆ น้อย ๆการรักษาความสมบูรณ์ของวัสดุที่อ่อนแอทําให้มันเป็นเครื่องมือที่จําเป็นในการบรรลุมาตรฐานความสะอาดสูงที่ต้องการในอุตสาหกรรมขณะที่กระบวนการผลิตครึ่งตัวนํากําลังพัฒนาและลดขนาดมากขึ้น, ความสําคัญของการทําความสะอาด ultrasonic จะยังคงเติบโต, การรับประกันว่าอุปกรณ์ครึ่งตัวนําตอบสนองความต้องการที่เพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่องสําหรับการทํางาน, ความน่าเชื่อถือ, และการลดขนาดเล็ก.
